Ein Weißlichtinterferometer ist ein Interferometer, welches der Weißlichtinterferometrie dient. Es arbeitet mit Licht geringer Kohärenzlänge. Daher entstehen Interferenzen nur bei auf wenige Mikrometer gleichen Weglängen im Referenz- und Objektstrahl.

Ein Weißlichtinterferometer kann somit als ein Messgerät zum berührungslosen Messen von Werkstücken mit hoher räumlicher Auflösung in der Tiefe verwendet werden. Auf glatten Flächen können Genauigkeiten im Bereich von wenigen Nanometern erreicht werden, auf rauen Flächen ist die Genauigkeit durch die Oberflächenrauigkeit begrenzt.

Weißlichtinterferometer gibt es als Interferenzmikroskope und als „großflächige“ Messgeräte mit Messfeldern bis zu 50 mm.

Weißlichtinterferometer werden auch in der Fourier-Spektroskopie eingesetzt.

siehe auch:

• Interferometrie
• Fourier Transform IR
• Optische Kohärenztomografie

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