Siliziumnitrid (fachsprachlich: Siliciumnitrid) ist eine chemische Verbindung und Bestandteil eines technischen Werkstoffes.

• chemische Formel: Si₃N₄
• pulverförmiges Verbrennungsprodukt der Silane

Verwendung

Siliziumnitrid ist Grundlage einer Nichtoxid-Keramikart, die sich ähnlich wie Siliziumkarbid durch besondere Härte und Zähigkeit auszeichnet. Durch den geringen Wärmeausdehnungskoeffizienten eignet sich Si₃N₄-Keramik besonders beim Bau von Hochleistungsmotoren (Formel 1) und in diversen Forschungsbereichen.

So werden beispielsweise die Messspitzen (Cantilever), mit denen bei Rasterkraftmikroskopen Proben bis in den atomaren Bereich aufgelöst werden, und die aus Silizium-Wafern hergestellt werden, an ihrer Oberfläche durch eine Siliziumnitridschicht besonders widerstandsfähig gegen mechanischen Verschleiß gemacht.

Nicht-Oxidkeramiken

Weblinks

• http://www.rauschert.com/TK/de/werkstoffe/sini.html Siliziumnitrid

Silicon nitride | Silīcija nitrīds