Metal insulator semiconductor (kurz MIS) bezeichnet eine Schichtstruktur „Metall-Isolator-Halbleiter“. Die MIS-Struktur bildet die Grundlage für viele Bauelemente in der Mikroelektronik, z. B. MOS-Transistoren, CCD-Sensoren), aus welchen sich wiederum erweiterte Anwendungen ergeben, z. B. Mikroprozessoren.

Als Isolatoren werden derzeit hauptsächlich Siliziumdioxid und Siliziumnitrid verwendet . Wird als Isolator Siliziumdioxid (SiO₂) verwendet, spricht man auch von MOS-Strukturen. Das O steht dabei für Oxid.

Weblinks

• Genaue Erklärung der MOS-Struktur

Mikroelektronik

Metal-Insulator Semiconductor