Gleichrichter

Gleichrichter werden in der Elektrotechnik zur Umwandlung von Wechselspannung in Gleichspannung verwendet. Die Umwandlung erfolgt durch meistens aktive elektronische Bauteile wie Halbleiterdioden, Thyristoren, oder spezielle Elektronenröhren die zu den entsprechenden Zeitpunkten die sich zeitlich ändernde Wechselspannung so umschalten, dass eine Gleichspannung zu erhalten ist. Anwendung zur Energieversorgung finden Gleichrichter beispielsweise in Netzteilen für die Versorgung von elektronischen Geräten, oder auch um Gleichstrommotoren an Wechselspannungsnetzen betreiben zu können. Weiteres gibt es Anwendungen in der Nachrichtentechnik als Hüllkurvendetektor oder in der elektrischen Messtechnik als präziser Messwertgleichrichter.

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Geschichte

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Die ersten Gleichtrichter zur Umwandlung von Wechselspannung in Gleichspannung waren mechanische Vorrichtungen welche durch eine rotierende Bewegung synchron zum Verlauf des Wechselspannung eine laufende Umschaltung und damit eine gleichrichtende Wirkung erzielten. Diese mechanischen Gleichrichter sind der auch noch heute eingesetzte rotierende Kommutator bei Gleichstromgeneratoren und Umformern. Der Kommutator ist auf der Generatorachse montiert und besitzt daher den zeitlich synchronen Bezug zum Verlauf der Wechselspannung in den Rotorspulen. Da an Kommutatoren relativ hoher Verschleiß an den Kohlebürsten auftritt, werde heute solche Gleichstromgeneratoren nur noch bei kleiner Leistung eingesetzt bzw. der mechanische Kommutator durch elektronische Halbleiter ersetzt.

Elektrostatische Luftfilter, welche eine hohe Gleichspannung für die elektrostatische Anziehung von Staubpartikel benötigen, wurden früher mit mechanischen Gleichrichtern ausgestattet. Dabei wurde die mechanische Konstruktion zur Gleichrichtung aus einem Hochspannungstransformator mit Wechselspannung versorgt und ein rotierendes Rad mit elektrischen Kontakten ermöglichte die zeitgenaue Umschaltung der Wechselspannung. Angetrieben wurden dieses Gleichrichterrad durch einen Synchronmotor welcher den zeitlichen Bezug zwischen der Drehbewegung und der zeitlichen Änderung der Wechselspannung sicherstellte.

Weitere Entwicklungen war der Quecksilberdampfgleichrichter, welcher auch bei größeren Leistungen eingesetzt werden konnte. Ein Quecksilberdampfgleichrichter besteht aus einem Glaskolben in dem unten eine Kathode mit einem Quecksilbersee ist. Darüber wölbt sich ein Glaskolben, der das Quecksilber wieder kondensiert. Seitlich sind wie Arme Glaskolben mit Graphitelektroden als Anoden angeschmolzen. Elektronen können nur durch das bei Entladungen verdampfte Quecksilber vom See zu den Graphitelektroden fließen.

Später wurden die ersten Halbleitergleichrichter in Form von Selen-Plattengleichrichter erfunden. - Eine Selenplatte hat je nach Herstellung eine Sperrspannung von 15 bis 50 V und einen relativ hohen Flusswiderstand von ca. 30 Ohm. Um große Spannungen gleichzurichten und um die Abwärme abzuleiten, wurden die Selenplatten gestapelt und mit Kühlflächen versehen, was diesem Gleichrichtern ein charakteristisches Aussehen verlieh.

Mitte des 20. Jahrhunderts wurden vor allem in Detektor-Empfängern die Detektorkristalle aus Bleiglanz oder Pyrit benützt: Ein Halbleiter-Metall-Übergang der aus einem Halbleiterkristall und einer tastenden Metallspitze bestand und durch die gleichrichtende Eigenschaft dieses Übergangs zur AM-Demodulation für den Rundfunkempfang eingesetzt werden konnte.

Arten von Gleichrichtern

Es gibt aktiv gesteuerte und ungesteuerte Gleichrichterschaltungen.

Gesteuerte Gleichrichter müssen über eine zusätzliche Steuerung verfügen, welche festlegt, zu welchen Zeiten welcher Schalter geöffnet und wann er geschlossen sein muss, um eine gleichrichtende Wirkung zu erzielen. Manche dieser elektronischen Schalter können den Strom auch in beide Richtungen fließen lassen - erst durch die zeitlich genaue Ansteuerung der Schalterstellung synchron zur Änderung der Wechselspannung wird die gleichrichtende Eigenschaft realisiert. Sie werden daher Synchrongleichrichter genannt. Gesteuerte Gleichrichter bestehen heute aus elektronischen und daher fast trägheitslose Schaltelementen wie Thyristoren und MOSFETs. Früher gab es Gleichrichter mit mechanischen Kontakten ähnlich einem Relais, welche eine wechselspannungssynchrone Schwingung ausführten. Diese Kontaktgleichrichter zählten ebenfalls zur Gruppe der Synchrongleichrichter. Weiterhin waren u.a. zur Realisierung von Phasenanschnittsteuerungen Thyratrons im Einsatz.

Bei ungesteuerten Gleichrichtern erfolgt der Umschaltvorgang ohne eine zusätzliche Steuerelektronik nur aufgrund der anliegenden elektrischen Spannungen (Potentialdifferenz) an den Dioden. Dabei wird die Eigenschaft von Dioden ausgenutzt, elektrischen Strom nur in einer Richtung fließen zu lassen. Beispiele ungesteuerter Gleichrichter sind die heute meist üblichen Halbleiterdioden. Aber auch heute weniger gebräuchliche Elektronenröhren (Röhrendiode) sowie Quecksilberdampf-Gleichrichter zählen zu dieser Gruppe.

Glättung

Durch Gleichrichtung entstehen aufgrund der ursprünglichen Wellenform der Spannung(Sinuskurve) Unregelmäßigkeiten. Geglättet werden können diese durch einen parallel zum Verbraucher geschalteten Kondensator, der die Wellentäler ausgleicht. Alternativ dazu kann die Glättung auch durch Induktivitäten, welche in Serie zum Verbraucher geschalten werden muss, erfolgen. Diese Form der Glättung mit Induktivitäten wird vor allem bei größeren Leistungsgleichrichtern angewendet. Der nach der Glättung übrig bleibende Wechselanteil bezeichnet man auch als Brummspannung. Weiter reduziert werden kann die Brummspannung durch nachgeschaltete so genannte Siebglieder (Filter).

Die Glättung ist umso besser, je höher die Kapazität des Kondensators bzw. je höher die Induktivität der Spule ist und je geringer der Laststrom ist. Zu beachten ist, dass die entstehende Brummspannung eventuell ein ganzzahliges Vielfaches der Frequenz der Wechselspannung aufweist. Wird beispielsweise eine Wechselspannung mit der Frequenz von 50 Hz mittels Zweiwegegleichrichter (Brückengleichrichter) gleichgerichtet, so hat die dabei entstehende Brummspannung eine Grundfrequenz von 100 Hz, also dem doppelten der ursprünglichen Frequenz.

Bauarten

Es gibt verschiedene Bauarten von Gleichrichtern, manche nur noch von historischer Bedeutung, von denen einige beispielhaft erwähnt werden:

Beim so genannten Kontaktgleichrichter wird ein Kontakt mit Hilfe eines Relais synchron zur Frequenz der gleichzurichtenden Wechselspannung bewegt.
Taucht man in verdünnte Schwefelsäure eine Platinelektrode und eine Niobelektrode ein und legt an diese eine Spannung, so kann nur Strom fließen, wenn die Niobelektrode Kathode ist. Man spricht hier von einen elektrolytischen Gleichrichter. Solche Gleichrichter können auch mit anderen Elektrolyten und Metallen realisiert werden. Wichtig ist, dass eine Elektrode aus einem Metall mit hoher Neigung zu Passivierung, wie einem Refrektärmetall oder Aluminium besteht.
Früher häufig verwendet war auch die Röhrendiode. Sie funktioniert durch Glühemission von Elektronen aus der beheizten Kathode einer Elektronenröhre. Die Kathode kann nur Elektronen emittieren, wenn sie Minuspol ist.
Beim Quecksilberdampfgleichrichter übernimmt eine Kathode aus flüssigem Quecksilber diese Funktion. Sie kann Elektronen leichter emittieren als die aus Eisen, Wolfram oder Graphit gefertigten Elektroden des Quecksilberdampfgleichrichters.
Heute werden großteils nur noch Halbleitergleichrichter verwendet. In der einfachsten Form besteht dieser Gleichrichter aus Dioden. Strom kann nur fließen, wenn das p-dotierte Material am positiven Pol und das n-dotierte Material am negativen Pol hängt. Andernfalls befinden sich in der Mitte des Gleichrichters zu wenig Ladungsträger und es fließt (im Idealfall) kein Strom.
Mit Schottky-Dioden können Gleichrichter mit niedriger Flussspannung als wie mit herkömmlichen Dioden gebaut werden. Die Flussspannung oder Vorwärtsspannung beschreibt den Spannungsabfall an der Diode im leitfähigen Zustand und ist ansich unerwünscht. Schottky-Dioden kommen vor allem in Schaltnetzteilen zur Anwendung.
Synchron geschaltete Gleichrichter mit MOSFETs als aktive Schalter. Dabei werden die Schalter zu bestimmten Zeitpunkten durch eine Steuerelektronik ein- und ausgeschaltet und damit eine Gleichrichtwirkung erzielt. Synchron geschaltene Gleichrichter werden vor allem in Schaltnetzteilen mit niedrigen Ausgangsspannungen und hohen Ausgangsströmen eingesetzt und sind eine moderne Version der Kontaktgleichrichter.
Die in Detektor-Empfängern Anfang bis Mitte des 20. Jahrhunderts eingesetzten Kristalle dienten der Demodulation der amplitudenmodulierten Hochfrequenz für den Hörfunkempfang und sind Gleichrichter. Die Kristallmaterialien bestanden unter anderem aus Bleiglanz oder Pyrit und wurden durch eine feine Metallspitze kontaktiert wodurch eine kapazitätsarme gleichrichtende Wirkung wie bei Germaniumdioden erzielt wurde.
Hochspannungsgleichrichter, wie sie in TV-Empfängern, Hochspannungslabors, in Laserdruckern zum Auftragen des Toners aber auch bei Hochspannungs-Gleichstrom-Übertragungen eingesetzt werden, bestehen aus einer Reihenschaltung von herkömmlichen Dioden bzw. Thyristoren. Dies ist deswegen notwendig, weil eine Diode (Thyristor) nur eine bestimmte maximale Sperrspannung hat und es bei Überschreitung dieser Spannung zu einem so genannten Durchbruch kommt. Die Herstellung von Halbleiterbauteilen mit Sperrspannungen über einigen kV ist nicht möglich.

Gleichrichterschaltungen zur Gleichstromversorgung

Im folgenden sind einige typische Gleichrichterschaltungen mit Dioden skizziert, welche vor allem im Bereich von Netzteilen kleinerer bis mittlerer Leistung Einsatz finden. Sie dienen zur Gewinnung von Gleichspannung aus der Wechselspannung des öffentlichen Stromversorgungsnetzes.

Brückengleichrichter

Der heute vermutlich bedeutendste Gleichrichter ist der Brückengleichrichter, auch Graetzschaltung genannt. Benannt ist diese Diodenschalten nach dem deutschem Physiker Leo Graetz.

Die Schaltung wird von vier Dioden gebildet: die links anliegende Wechselspannung, welche beispielsweise direkt von einem Transformator kommt, wird in eine pulsierende Gleichspannung, rechts dargestellt, umwandelt. Da es sich dabei um eine Zweiwegegleichrichtung handelt, erscheint die negative Halbwelle der Wechselspannung im Gleichstromkreis am Verbraucher R ausschließlich positiv. Wie bei allen Gleichrichtertypen muss auch bei dieser Gleichrichterschaltung die Sperrspannung der Gleichrichterdioden mindestens doppelt so groß wie die Spitzenspannung der Wechselspannung gewählt werden.

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Anmerkung: Der in der Abbildung dargestellte Wechselspannungsverlauf stellt keinen exakt sinusförmigen Verlauf dar.

Mittelpunktgleichrichter

Bei dem Mittelpunktgleichrichter werden ebenfalls beide Halbwellen der Wechselspannung gleichgerichtet. Allerdings ist dazu ein Transformator mit Mittelpunktanzapfung notwendig, der gleichzeitig einen Pol der gleichgerichteten Ausgangsspannung bildet. Der Vorteil dieser Schaltung liegt darin nur mit zwei Dioden D1 und D2 auszukommen. Der Nachteil dieser Schaltung ist der spezielle Transformator mit entsprechender Windung mit Mittelpunktanzapfung.

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Einweggleichrichter

Bei einem Einweggleichrichter wird nur eine Halbwelle der Wechselspannung gleichgerichtet, die andere Halbwelle wird nicht verwendet. Ein solcher Gleichrichter besteht dafür nur aus einer einzigen Diode. Der Nachteil der Einweggleichrichtung ist, dass die Welligkeit der auf der Gleichspannungsseite vergleichsweise groß ist und der Wirkungsgrad schlecht ist.

In der Halbperiode, in der die Diode in Durchlassrichtung betrieben wird, wird eine Spannung am Ausgang aufgebaut. Die Diode wird in der zweiten Halbperiode in der Sperrrichtung betrieben. Es fließt also kein Strom durch die Diode und es kann so keine negative Spannung aufgebaut werden. Somit ist die Wechselspannung gleichgerichtet.

Die Gleichspannung muss in der Regel noch geglättet werden. Die Welligkeit hat die Frequenz der Eingangsspannung.

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Wert der Brummspannung bei Einweggleichrichtung: $U_{BS} \approx {I_L \over {C \cdot f}}$

Gleichrichter für Dreiphasenwechselstrom

Für mittlere Leistungen von einigen Kilowatt aufwärts werden auch Gleichrichterschaltungen eingesetzt, welche die Dreiphasenwechselspannung aus dem öffentlichen Stromversorgungsnetz gleichrichten. Der Vorteil dieser Schaltung besteht darin, dass die Brummspannung, unten rechts in rot eingezeichnet, auf der Gleichspannungsseite kleiner ist und daher nur reduzierte Maßnahmen zur Glättung der Gleichspannung benötigt werden. Die Schaltung kann zur weiteren Reduktion der Brummspannung auch zur Gleichrichtung von mehr als drei Phasen erweitert werden.

Anwendung findet diese Gleichrichterschaltung beispielsweise bei elektrischen Straßenbahnen welche fast immer mit Gleichspannungen von 500V bis 750V betrieben werden. Diese Schaltung wird auch in Kraftfahrzeugen bei der Lichtmaschine eingesetzt. Die Lichtmaschine ist heute fast immer als ein Drehstromgenerator ausgeführt, dessen Wechselspannung für das Laden der Autobatterie erst in Gleichspannung umgewandelt werden muss.

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Waveform fullwave rectifier3.png

Synchrongleichrichter

Synchrongleichrichter werden bevorzugt in Schaltreglern (Schaltnetzteilen) mit niedriger Ausgangsspannung im Bereich von unter 4 V eingesetzt. Bei diesen kleinen Spannungen wirkt sich die Vorwärtsspannung (Verlustspannung) an den Gleichrichterdioden im Bereich von 0,5 V bis 1 V bereits merklich aus und reduziert den Wirkungsgrad. Daher werden anstelle von Dioden in den Gleichrichterschaltungen MOSFETs eingesetzt, da bei diesen Bauteilen die Verlustspannungen im Bereich von einigen 10 mV liegen und damit um mehr als eine Zehnerpotenz kleiner als bei Dioden sind. Der Nachteil ist der höhere Bauelementeaufwand, da es zur synchronen Ansteuerung der MOSFETs entsprechende zusätzliche Schaltungsteile benötigt. Meist sind diese zusätzlichen Schaltungsteile für die zeitlich genaue Ansteuerung in fertigen integrierten Schaltungen zusammengefasst.

Eingesetzt werden Synchrongleichrichter beispielsweise auf PC-Hauptplatinen zur Versorgung des Hauptprozessors (CPU). In diesen Schaltreglern werden Spannung im Bereich von 0.5 V bis 2 V bei Strömen über 40 A gleichgerichtet.

Gleichrichterschaltungen zur Spannungsvervielfachung

Spezielle Gleichrichterschaltungen können auch zur Spannungsvervielfachung verwendet werden. Dabei werden Kombinationen von Dioden und Kondensatoren so verschalten, dass eine am Eingang angelegt Wechselspannung eine vervielfachte Gleichspannung am Ausgang ergibt. Typische Schaltungen sind der Spannungsverdoppler, die Hochspannungskaskade und die Greinacher-Schaltung. Anwendung finden diese Schaltungen unter anderem in Fernsehempfängern mit Farbbildröhren zur Erzeugung der Anodenspannung im Bereich von 24 kV.

Steuerbare Gleichrichter

Regulated rectifier.gif Steuerbare Gleichrichter finden vor allem im Bereich der Energie- und Antriebstechnik Anwendung. Mit ihnen ist nicht nur eine Gleichrichtung möglich sondern durch zeitliche Verschiebung der Schaltpunkte auch eine Leistungsregelung. Einsatzbereiche sind beispielsweise die Drehzahlsteuerung von Gleichstrom- bzw. Universalmotoren in Industrieanlagen oder Haushaltsgeräten, in modernen Elektrolokomotiven zur Beaufschlagung des Gleichspannungs-Zwischenkreises und in Anlagen der Hochspannungs-Gleichstrom-Übertragung. Früher wurden für diesen Zweck gittergesteuerte Quecksilberdampfgleichrichter, wie Thyratrons und Ignitrons eingesetzt. Heute werden für diesen Zweck Thyristoren, Insulated Gate Bipolar Transistoren (IGBT) und teilweise Leistungs-MOSFETs verwendet.

Steuerbare Gleichrichter mit Thyristoren als Ventile sperren den Strom in beide Richtungen, bis an der Steuerelektrode eines Ventils ein Zündimpuls erfolgt. In nebenstehender Grafik ist der Zündimpuls der Thryistoren unten als blauer Rechteck eingezeichnet. Auch nach Erlöschen des Steuerpulses bleibt der Stromfluss (rot eingezeichnet) bestehen und nur durch die zeitliche Verschiebung des Einschaltzeitpunktes ist eine Leistungsregelung möglich. Erst wenn der Strom unter einen bestimmten Schwellwert (Haltestrom) sinkt, sperrt der Thyrister wieder und muss in der nächsten Halbwelle wieder neu gezündet werden. Es gibt allerdings auch GTO-Thyristoren, die auch das Sperren eines Ventils durch einen Impuls erlauben. Allerdings weisen diese GTO-Thyristoren vergleichsweise schlechte elektrische Parameter auf und werden zunehmend durch IGBTs ersetzt.

Hat ein Brückengleichrichter voll steuerbare Zweige, ist mit ihm Vier-Quadrantenbetrieb möglich, d.h. er kann bei entsprechender Steuerung sowohl Energie aus der Wechselstromseite in die Gleichstromseite liefern als auch umgekehrt. Die entsprechende Schaltung wird auch als H-Brücke bezeichnet.

Präzisionsgleichrichter in der Messtechnik

Precision rectifier.png In der elektrischen Messtechnik sind Gleichrichter zur präzisen Gleichrichtung auch von kleinen Spannungen notwendig. Diese Gleichrichter dienen nicht der Energieversorgung von elektronischen Baugruppen sondern zur Gewinnung von Messsignalen. Eingesetzt werden diese Gleichrichterschaltungen beispielsweise bei der Betragsbildung von Wechselspannungen in Multimetern.

Präzisionsgleichrichter in der Messtechnik sind analoge Schaltungen welche als aktives Bauelement einen oder mehreren Operationsverstärker umfassen. Mit Hilfe der Reglereigenschaft und der Möglichkeiten der Rückkopplungen können mit herkömmlichen, verlustbehafteten Dioden funktionell ideale Dioden ohne Spannungsverlust am Gleichrichter gebildet werden.

Nebenstehende Abbildung zeigt einen vereinfachten Einweggleichrichter für messtechnische Anwendungen, mit den Eingangsklemmen "Vi" für den Wechselspannungsanschluss und die Ausgangsklemmen "Vo" an welchen die Gleichspannung ausgegeben wird. Der Operationsverstärker dient dazu, um die Vorwärtsspannung der Diode zu kompensieren. Die eigentliche Gleichrichtung erfolgt weiterhin durch die Diode. Diese einfache Schaltung hat in Praxis allerdings einige Nachteile wie Sättigungsprobleme des Operationsverstärkers, weshalb in angewandten Präzisionsgleichrichtern meist kompliziertere Schaltungen zum Einsatz kommen.

Gleichrichter in der Nachrichtentechnik

DetektorEmpfaenger.png Gleichrichter werden auch in der Nachrichtentechnik eingesetzt und dienen der Umformung von Signalen wie bei der Demodulation von amplitudenmodulierten Funksignalen. Ein einfaches Anwendungsbeispiel von Gleichrichtern in der Nachrichtentechnik ist ein Funkempfänger wie er in den ersten Detektor-Empfängeren eingesetzt wurde und in nebenstehender Schaltskizze abgebildet ist.

Die Spule und der Drehkondensator stellen dabei einen Resonanzkreis dar, welcher auf die hochfrequente Trägerfrequenz abgestimmt ist. Diese empfangene Spannung, deren Amplitude in Abhängigkeit des Nutzsignals variiert, wird über die Diode gleichgerichtet wodurch am Kopfhörer als Spannungsverlauf die Hüllkurve des Nutzsignals anliegt - die höheren Frequenzanteile der Sendefrequenz werden durch parasitäre Kapazitäten im Kopfhöhrer unterdrückt.

Diese Form der Empfänger ist nicht besonders empfindlich und nur für den Empfang naher und starker Sender geeignet. Das zugrundeliegende Prinzip kommt aber auch noch in heutigen Rundfunkempfängern bei Empfang von amplitudenmodulierten Signalen zum Einsatz.

Gleichrichter als nichtlineare Schaltung

Gleichrichter sind nichtlineare Schaltungen welche vorallem in Kombination mit der oben erwähnten Glättung bei sinusförmigen Spannungsverlauf einen nicht sinusförmigen Stromverlauf auf der Wechselspannungsseite verursachen. Dieser Strom setzt sich aus mehreren Frequenzkomponenten zusammen, so genannten Oberwellen, welche in Wechselspannungsnetzen Störungen verursachen können. Um diese Oberwellen klein zu halten müssen daher Netzteile mit Gleichrichtern ab bestimmten Leistungen eine Leistungsfaktorkorrektur vornehmen. Dies ist eine spezielle Form der Filterung welche den erwünschten sinusförmigen Stromverlauf auf der Wechselstromseite nachbildet.

Ausserdem tritt bei Gleichrichtern, wie bei allen nichtlinearen Schaltungen, eine spezielle Form der Blindleistung auf, die in der Literatur nicht einheitlich als Verzerrungsblindleistung oder als Verzerrungsleistung bezeichnet wird und sich ähnlich wie die Blindleistung auswirkt. Dabei handelt es sich im Gegensatz zu der Blindleistung, welche auch Verschiebungsblindleistung genannt wird und durch eine bestimmte Phasenverschiebung zwischen Spannung und Strom in der Grundwelle ausgezeichnet ist, um eine Form der Blindleistung die durch die Oberwellen gebildet wird. Diese Verzerrungsblindleistung ist nicht durch eine einzige Phasenverschiebung zu beschreiben, belastet allerdings ebenso wie die Verschiebungsblindleistung ohne Nutzen zusätzlich Leitungen und ist daher im allgemeinen unerwünscht. Durch die Leistungsfaktorkorrektur in Netzteilen wird auch die Verzerrungsblindleistung minimiert.

Sonstiges

Die größten jemals zum Einsatz gekommenen Gleichrichter sind die steuerbaren Quecksilberdampfgleichrichter der Hochspannungs-Gleichstrom-Übertragungsanlage Nelson River Bipol 1. Sie besitzen eine Sperrspannung von 150 kV und einen maximalen Durchlassstrom von 1800 A.

Trivia

Halbleitermaterial für Gleichrichter war anfangs das Material Selen(→Selen-Gleichrichter). Ab Anfang der 1970er Jahre wurde dann Germanium verwendet, welches später durch Silizium ersetzt wurde. Wegen der unangenehmen Geruchsbelästigung bei Überlast war die Aussprache von „Gleichrichter“ deshalb „Gleich riecht er“.

Literaturuellen

Manfred Seifart: Analoge Schaltungen, VEB Verlag Technik Berlin, 1989, ISBN 3-341-00740-7
U. Tietze, Ch. Schenk: Halbleiter-Schaltungstechnik, Springer, 2002, ISBN 3-540-42849-6

Weblinks

Siehe auch

Umrichter | Wechselrichter

Leistungselektronik | Halbleiterbauelement

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