Ein Beschleunigungssensor ist ein Sensor (Fühler), der die Beschleunigung misst, indem die auf eine Testmasse wirkende Trägheitskraft bestimmt wird. Somit kann z.B. bestimmt werden, ob eine Geschwindigkeitszunahme oder -abnahme stattfindet.

Er wird auch Beschleunigungsmesser oder Accelerometer genannt, weiterhin B-Messer und G-Sensor.

Anwendungen

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Die Beschleunigung ist eine mechanische Größe, die in vielen Bereichen der Technik eine große Rolle spielt. Beschleunigungssensoren haben daher eine Vielzahl von Einsatzmöglichkeiten - zum Beispiel:

• Messung von (linearen) Beschleunigungen (Beschleunigungsmesser).
• Messung von Vibrationen an Gebäuden und Maschinen.
• Aktive Federungssysteme in Fahrzeugen.
• Alarmanlagen bei beweglichen Gütern oder als Berührungssensor.
• Schadensuntersuchungen beim Warentransport.
• Seismik und Erdbebenvorhersage.
• Neigungsmessung in statischen Systemen (d.h. solange andere Beschleunigungen im Vergleich zur Erdbeschleunigung vernachlässigbar sind).
• Aktive Lautsprecher.
• Zusammen mit Gyroskopen zur Lageregelung oder Stabilisierung von Luftfahrzeugen wie Hubschraubern oder UAVs.
• Wird im Nintendo Wii (Codename:Revolution) als Steuerung im Controller verwendet

Kleinsensoren haben Messbereiche von einigen g bis zu Dutzenden oder sogar hunderten g und sind vielfach auch sehr robust gegen Stöße. Die Genauigkeiten liegen meist im Prozent- oder Promille-Bereich.

Präzisere, aber größere Instrumente liefern heute Genauigkeiten weit über 1:1 Million und erlauben z.B. eine Messung differenzieller Beschleunigungen in Erdsatelliten. In Bergbau und Technik wurde schon früh die Kontrolle von Aufzügen durch Accelerometer durchgeführt, weil hier ein eindimensionales Messsystem genügt. Auch für die Raketentechnik und die Analyse von Fahrzeug-Bewegungen oder die Autoelektronik ist die Beschleunigungsmessung unentbehrlich.

Viele technische Anwendungen benötigen volle dreidimensionale Messungen, etwa im Maschinenbau, zur Steuerung von Robotern oder in der Raumfahrt. Hier ist Miniaturisierung eine wichtige Voraussetzung - neben Unempfindlichkeit gegen Temperatur, Vibrationen und andere Effekte. Zahlreiche Anwendungen kommen aber mit 2D-Sensoren aus, wenn es hauptsächlich um Bewegungen in einer Ebene geht. Präzisions-Accelerometer werden teilweise auch für Messungen im Erdschwerefeld eingesetzt - siehe Gravimetrie und Gradiometrie, sowie der ESA-Satellit GOCE.

Messprinzipien

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Die ersten dieser Messinstrumente hatten eine sog. "sensitive (empfindliche) Achse", auf der die Prüfmasse verschiebbar angeordnet war. Sie waren bis etwa 1970 - in Verbindung mit Kreiseltechnik - die Basis vieler Steuerungsmethoden und der Inertialnavigation; später wurden sie weitgehend durch genauere Systeme mit biegsamen Quarz-Stäben ("Q-Flex") oder magnetisch stabilisierten Massen ersetzt. Miniaturisierte Sensoren sind meist mit piezoelektrischen Sensoren oder als MEMS (Micro-Electro-Mechanical System) aufgebaut.

Piezoelektrische Beschleunigungssensoren

Ein piezokeramisches Sensorplättchen wandelt dynamische Druckschwankungen in elektrische Signale um, die entsprechend weiterverarbeitet werden können. Die Druckschwankung wird durch eine an der Piezokeramik befestigte ("seismische") Masse erzeugt und wirkt bei einer Beschleunigung des Gesamtsystems auf die Piezokeramik. Dieses System wird z.B. bei Radauswuchtungsmaschinen verwendet, wo jede Unwucht des Rades ein entsprechendes Signal in der Piezokeramik erzeugt. Es erkennt innerhalb von Sekunden die Unwucht am Reifen. Konstante Beschleunigungen (z.B. Erdbeschleunigung) können mit piezoelektrischen Beschleunigungssensoren nicht erfasst werden.

Mikrosysteme

In den letzten Jahren haben miniaturisierter Beschleunigungssensoren zunehmend Bedeutung erlangt. Diese sind mikro-elektro-mechanische Systeme (MEMS) und werden aus Silizium hergestellt. Diese Sensoren sind Feder-Masse-Systeme, bei denen die "Federn" nur wenige μm breite Silizium-Stege sind und auch die Masse aus Silizium hergestellt ist. Durch die Auslenkung bei Beschleunigung kann zwischen dem gefedert aufgehängten Teil und einer festen Bezugselektrode eine Änderung der elektrischen Kapazität gemessen werden. Der gesamte Messbereich entspricht einer Kapazitätsänderung von nur ca. 1 pF, daher muss die Elektronik zur Auswertung dieser kleinen Kapazitätsänderung gleich auf den selben Halbleiterbaustein integriert werden.

Für die Herstellung dieser Sensoren werden die Masse und die kleinen Silizium-Federn (Silizium-Beinchen) mittels Fotolithografie aus dem Silizium herausgeätzt. Um eine freitragende Struktur zu erhalten, wird eine darunterliegende Schicht aus Siliziumdioxid ebenfalls durch Ätzen entfernt.

Diese Art von Beschleunigungssensoren hat den Vorteil relativ geringer Stückkosten (Massenfertigung) und hoher Zuverlässigkeit (manche solche Sensoren können noch Beschleunigungen bis zum Tausendfachen des Messbereichs ohne Schaden überstehen). Auf Grund der geringen Größe zeichnen sie sich auch durch hohe Messgeschwindigkeit aus. Sie werden daher z.B. zur Auslösung von Airbags in Fahrzeugen eingesetzt.

Weitere "klassische" Beschleunigungssensoren

• Dehnungsmessstreifen: Eine weitere Möglichkeit die Bestimmung der Kraft auf die Testmasse, indem die Verformung der Befestigung (z.B. eines Stabes) mittels Dehnungsmessstreifen bestimmt wird (vor allem für niedrige Frequenzen geeignet).
• Magnetische Induktion: Bei der Bewegung der an einer Feder aufgehängten Testmasse wird durch einen Magneten in einer Spule eine elektrische Spannung induziert, ähnlich wie in einem dynamischen Mikrofon (Tauchspulenmikrofon).

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